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四探針法晶圓電阻率測量儀

四探針法晶圓電阻率測量儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-14
  • 產品介紹:四探針法晶圓電阻率測量儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品型號:GEST-201

一、產品概述

本儀器主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試

二、儀器構成:

本儀器主要組成部分有:

1、 高精度電阻率測試儀

2、 三坐標測試移動平臺

3、 測試探頭

4、 上位機軟件測量成像系統

高精度電阻率測量儀:

1、測量范圍

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.2電導率:0.00005~10000 s/cm;

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2、電壓測量:

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力:10μV;

2.3 精度:±0.1% ;

2.4顯示:觸摸屏操作顯示

3、恒流源:

3.1電流輸出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差:±0.5%

3.3各檔連續可調

三坐標測試移動品臺:

1、X軸Y軸移動行程:120MM

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

3、R軸*小分度值:0.0125°C

四探針測試電極:

1、間距:1±0.01mm;
2、針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
3、機械游移率:≤0.3%;
4、探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
5、 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

上位機軟件測量成像系統

1、 測量方式:弧度測量、角度測量

2、 測量點數:可以設定

3、 測試數據:實時同步顯示

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

5、 數據導出:可以保存測試數據生成電子版本

 

 

 

而不應產生擊穿,然后撤去構成區段所用的電極。按照5.1.2所給出的程序對每一只試品再次測定干工頻閃絡電壓。每一只試品的閃絡電壓平均值不得低于按5.1.2測得值的90%。5.1.2測得它的平均閃絡電壓的80%的電壓,持續30min。試驗不應產生擊穿,用在生產線上制成的6只絕緣子進行試驗,絕緣子的長度(金屬附件至金屬附件的絕緣距離)應不小于800mm,兩端金屬附件應與生產線上的絕緣子所采用的相同。芯棒的端部連接區應相同,但芯棒端部以外的部分可作適當修改,以避免聯接的破壞。對此6只絕緣子進行外觀檢查,并核對其尺寸是否符合圖紙。注:若制造廠只生產短于800mm的絕緣子,設計試驗也可在現有長度的絕緣子上進行。

對3只試品施加拉伸負荷。此拉伸負荷應迅速而平穩地從零升高到大約為芯棒預期機械破壞負荷的75%,然后在30s至90s的時間內逐漸升高到芯棒破壞或完全抽出。終導致聯接破壞的任何試驗應當不計入。算出其3只試品的破壞負荷平均值。對剩余3只試品施加拉伸負荷,兩只試驗絕緣子的爬電距離應在484mm到693mm之間。若試驗的絕緣子不能從生產線上取得,則應從別的絕緣子上切下制成專門的試品,使其爬電距離在給定值之間。此專門試品應裝上正常生產用的金屬附件。此試驗是在14kV?24kV范圍內的穩定工頻電壓和鹽霧條件下的一種限定時間的連續試驗。試驗電壓千伏數應按爬電距離毫米數除以34.6(等于爬電比距20mm/kV)來確定。

 

 

 

 

 

四探針法晶圓電阻率測量儀

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