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半導體硅片電阻率測定儀

半導體硅片電阻率測定儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-14
  • 產品介紹:半導體硅片電阻率測定儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
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產品介紹

全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品型號:GEST-201

一、產品概述

本儀器主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試

二、儀器構成:

本儀器主要組成部分有:

1、 高精度電阻率測試儀

2、 三坐標測試移動平臺

3、 測試探頭

4、 上位機軟件測量成像系統

高精度電阻率測量儀:

1、測量范圍

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.2電導率:0.00005~10000 s/cm;

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2、電壓測量:

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力:10μV;

2.3 精度:±0.1% ;

2.4顯示:觸摸屏操作顯示

3、恒流源:

3.1電流輸出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差:±0.5%

3.3各檔連續可調

三坐標測試移動品臺:

1、X軸Y軸移動行程:120MM

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

3、R軸*小分度值:0.0125°C

四探針測試電極:

1、間距:1±0.01mm;
2、針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
3、機械游移率:≤0.3%;
4、探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
5、 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

上位機軟件測量成像系統

1、 測量方式:弧度測量、角度測量

2、 測量點數:可以設定

3、 測試數據:實時同步顯示

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

5、 數據導出:可以保存測試數據生成電子版本

 

 

 

 

試驗可以在空氣中或在其他任何合適的介質中進行。施加的機械負荷應等于試品的逐個試驗負荷(至少為50%額定機械負荷)。此負荷應在環境溫度下于*次熱循環開始前施加到試品上。為了便于維修,試驗可以中斷,但中斷的總時間應在4h內,并在中斷后重新開始,該循環仍然有效。在試驗開始前,在環境溫度下對試品施加至少5%的額定機械負荷,持續1min。在此期間測量試品的長度,精確到0.5mm0此長度做為參照長度。在試驗后,在相同的負荷和起始試品溫度下,用類似的方法再次測量此長度(為了提供有關金屬附件的相應位移的某些補充情況)。將試品放入容器內,在沸騰結束后,試品仍保留在容器中,直到水冷卻到大約5O°C,并在這個容器中維持此溫度。

直到按下面的次序開始驗證試驗。下面的各個試驗(5.1..1.4.2和5.1.4.3)的間隔時間應使得此驗證試驗在48h內完成。對每只試品的傘套進行外觀檢査,不允許有開裂。在試品上布置電極(該電極由夾片構成,例如可由大約20mm寬,厚度不超過1mm的窄銅條作成)。此電極應牢固地緊繞在傘裙間的傘套上,形成約等于或小于500mm的區段。若絕緣子的絕緣長度小于或等于500mm,就將電壓直接加到原有的金屬附件上。將陡度不小于1000kv/jxs,且不大于1500kV/咨的沖擊電壓施加到兩個相鄰的電極間或將電壓施加到金屬附件與相鄰的電極上,每個區段應分別承受25次正極性沖擊和25次負極性沖擊。每次的沖擊應引起電極間的外部閃絡。

 

 

 

 

 

半導體硅片電阻率測定儀

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