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產品詳細頁
半導體硅片電阻率測量儀

半導體硅片電阻率測量儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-14
  • 產品介紹:半導體硅片電阻率測量儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
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產品介紹

全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品型號:GEST-201

一、產品概述

本儀器主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試

二、儀器構成:

本儀器主要組成部分有:

1、 高精度電阻率測試儀

2、 三坐標測試移動平臺

3、 測試探頭

4、 上位機軟件測量成像系統

高精度電阻率測量儀:

1、測量范圍

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.2電導率:0.00005~10000 s/cm;

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2、電壓測量:

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力:10μV;

2.3 精度:±0.1% ;

2.4顯示:觸摸屏操作顯示

3、恒流源:

3.1電流輸出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差:±0.5%

3.3各檔連續可調

三坐標測試移動品臺:

1、X軸Y軸移動行程:120MM

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

3、R軸*小分度值:0.0125°C

四探針測試電極:

1、間距:1±0.01mm;
2、針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
3、機械游移率:≤0.3%;
4、探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
5、 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

上位機軟件測量成像系統

1、 測量方式:弧度測量、角度測量

2、 測量點數:可以設定

3、 測試數據:實時同步顯示

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

5、 數據導出:可以保存測試數據生成電子版本

 

 

 

僅當所有的絕緣子或試品通過了5.1.5,5.5.5.5.6中規定程序的各項設計試驗時,該特定設計的復合絕緣子才認為合格。這些試驗的匯總列于附錄D。從生產線上裝配三只絕緣子進行試驗,絕緣長度(金屬附件到金屬附件間的距離)應不小于800mm。兩端金屬附件應與生產的標準絕緣子一樣。附件的裝配,應使附件到近的一個傘裙之間的絕緣部分與正常生產線上絕緣子的該部分相同。應對這些絕緣子進行外觀檢查且按照圖樣核對尺寸是否符合,然后按8.3進行逐個機械試驗。注:如果生產廠僅生產短于800mm的絕緣子,設計試驗可以在現有的這樣長度的絕緣子上進行,但其結果僅對被試長度的絕緣子有效。本試驗作為5.1.4.3試驗結果評定的依據。

對3只試品的每一只測定5次閃絡電壓,取其平均值為其干工頻閃絡電壓測定值。此平均閃絡電壓應校正到按GB/T16927.1所提到的正常標準大氣條件.該閃絡電壓應在1min內,從零直線上升到閃絡值。試驗應對三只試品按下面的次序進行。在一20°C?一25°C下,對每一只試品進行5次從等于30%額定機械負荷的拉伸負荷突然卸載的試驗。注在附錄B中敘述了兩種可行的突然卸載裝置的例子。注在特定條件下,可協議選定更低的溫度。按圖1所示,在一連續的機械負荷下對試品施加熱的變化,24h為一個熱循環,此24h熱循環應重復4次。每24h循環內的兩個溫度水平(一個是+5O°C±5K,另一個是一35笆士5K)各應至少持續8h。

 

 

 

 

 

半導體硅片電阻率測量儀

半導體硅片電阻率測量儀

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