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全自動晶圓成像電阻率測定儀

全自動晶圓成像電阻率測定儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-14
  • 產品介紹:全自動晶圓成像電阻率測定儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
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產品介紹

全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品型號:GEST-201

一、產品概述

本儀器主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試

二、儀器構成:

本儀器主要組成部分有:

1、 高精度電阻率測試儀

2、 三坐標測試移動平臺

3、 測試探頭

4、 上位機軟件測量成像系統

高精度電阻率測量儀:

1、測量范圍

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.2電導率:0.00005~10000 s/cm;

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2、電壓測量:

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力:10μV;

2.3 精度:±0.1% ;

2.4顯示:觸摸屏操作顯示

3、恒流源:

3.1電流輸出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差:±0.5%

3.3各檔連續可調

三坐標測試移動品臺:

1、X軸Y軸移動行程:120MM

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

3、R軸*小分度值:0.0125°C

四探針測試電極:

1、間距:1±0.01mm;
2、針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
3、機械游移率:≤0.3%;
4、探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
5、 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

上位機軟件測量成像系統

1、 測量方式:弧度測量、角度測量

2、 測量點數:可以設定

3、 測試數據:實時同步顯示

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

5、 數據導出:可以保存測試數據生成電子版本

 

 

——玻璃纖維和浸漬樹脂之間的界面;——填充料粒與聚合物之間的界面;——芯棒與傘套之間的界面;——傘套的各個部分之間;傘裙之間,或傘套與傘裙之間界面;——傘套、芯棒與金屬附件之間的界面。金屬附件是構成復合絕緣子的一種器件,它與支持結構物、導線、設備的部分或另一•只絕緣子相連接。芯棒和金屬附件之間傳遞負荷的區段。聯接是金屬附件一部分,通過這個部分可以將負荷由外部附件傳遞到復合絕緣子上。起痕是由于在絕緣材料的表面上形成通道并且發展而形成的一種不可逆的劣化現象,這種通道甚至在干燥的條件下也是導電的。起痕可以產生在與空氣相接觸的表面上,也可產生在不同絕緣材料之間的界面上。樹枝狀通道是由材料內部形成的微細通道。

是一種不可逆的劣化現象,這種通道可能導電也可能不導電,這些微通道能夠在整個材料上逐漸延伸直至產生電氣破壞。蝕損是在絕緣子表面上出現了材料的損失,是一種不可逆的和不導電的劣化現象。這種蝕損可能是均勻的、局部的或者是樹枝狀的。復合絕緣子如同瓷絕緣子一樣,在局部閃絡后通常會出現“樹枝狀的很淺的表面痕跡*這種痕跡只要是不導電就無妨礙,當它是導電時就應屬于起痕。粉化是傘套材料填充物的某些顆粒形成粗糙或粉狀表面的現象。裂紋是指深約0.01mm?0.1mm的表面微小裂縫。深度超過0.1mm的任何表面裂縫。由液態或氣態形式的水滲透而產生的水解現象,它可能在復合絕緣子材料內部發生,可導致電氣上和(或)機械上的劣化。

 

 

 

 

全自動晶圓成像電阻率測定儀

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