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全自動晶圓成像電阻率測量儀

全自動晶圓成像電阻率測量儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-14
  • 產品介紹:全自動晶圓成像電阻率測量儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品型號:GEST-201

一、產品概述

本儀器主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試

二、儀器構成:

本儀器主要組成部分有:

1、 高精度電阻率測試儀

2、 三坐標測試移動平臺

3、 測試探頭

4、 上位機軟件測量成像系統

高精度電阻率測量儀:

1、測量范圍

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.2電導率:0.00005~10000 s/cm;

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2、電壓測量:

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力:10μV;

2.3 精度:±0.1% ;

2.4顯示:觸摸屏操作顯示

3、恒流源:

3.1電流輸出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差:±0.5%

3.3各檔連續可調

三坐標測試移動品臺:

1、X軸Y軸移動行程:120MM

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

3、R軸*小分度值:0.0125°C

四探針測試電極:

1、間距:1±0.01mm;
2、針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
3、機械游移率:≤0.3%;
4、探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
5、 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

上位機軟件測量成像系統

1、 測量方式:弧度測量、角度測量

2、 測量點數:可以設定

3、 測試數據:實時同步顯示

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

5、 數據導出:可以保存測試數據生成電子版本

 

試樣放入測試容器,保證邊緣完好密封。7.3.2對質量保證試驗,在規定流量范圍內任意取*量;對于結構特性試驗,在規定流量范圍內分別取五個不同的流量。7.3.3待流量穩定后按下啟動按鈕,儀器即可打印出厚度、流量、差壓、透氣率。7.4試驗條件應與試樣停放條件一致。注:1如果要用比阻抗表示結果,可將表中K以R,取代。2門的數值等于試樣的數量。3對于給定材料的質量保證試驗,只選一個流速。8.5質量保證試驗,必須給出一組試樣的算術平均值K和表觀密度的算術平均及實驗中使用的流速。0.005m-s-1<;«<;注:試驗結果K可用R取代。8.6非均勻試樣。

用R取代R,(或K),按8.5條、8.6條表示結果。復合絕緣子至少由兩種絕緣件:即芯棒和傘套所構成,并帶有金屬附件。例如復合絕緣子可由各單個傘裙安裝在芯棒上構成,此時中間傘套可有也可沒有;或者,可將傘套整件或分成數件,直接模壓或澆注在芯棒上。芯棒是復合絕緣子的內絕緣件,是設計用來保證其機械特性的,芯棒通常由玻璃纖維浸漬于樹脂制成,以達到大拉伸強度。——對圓形截面芯棒是其幾何直徑;——對非圓形橫截面芯棒是27AA.A為橫截面面積。傘套是絕緣子的外部絕緣件,用來提供必要的爬電距離和保護芯棒不受氣候影響。由絕緣材料制成的中間傘套是傘套的一部分。界面是復合絕緣子不同材料或不同部件之間的表面。在大多數的復合絕緣子中存在有許多界面。

 

 

 

全自動晶圓成像電阻率測量儀

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