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產品詳細頁
半絕緣半導體電阻率測定儀

半絕緣半導體電阻率測定儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-19
  • 產品介紹:半絕緣半導體電阻率測定儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成:

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀:

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2電流誤差:±0.5%

三坐標測試移動品臺:

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

四探針測試電極:

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數:可以設定

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

 

 

 

 

b)沖擊擺錘(由擺桿和錘體組成);c)試樣夾具(由固定鉗口和活動鉗口及底板和旋轉手輪等組成);d)指示裝置(標度盤式或數顯式);e)擺錘釋放機構(電動或手動)。試驗機的特性及基本參數應符合表1的規定。a)室溫10t~35X:范圍內;b)相對濕度<80%;c)牢固地安裝在堅固的基礎上,該基礎的質量應至少為所用大擺錘質量的40倍,其水平度為0.2/1000;d)在周圍無振動、無腐蝕性介質的環境中。試驗機機架應具有足夠的剛性,能安裝擺軸、擺錘支承機構、試樣夾具和指示裝置;底座應堅固并有供試驗機安裝調整的水平基準面或水平指示裝置。鉗口、試樣和擺錘沖擊刀刃的相互位置關系應符合圖2的規定?;Q式試樣夾具由固定鉗口和活動鉗口組成。

5.4.1固定鉗口與活動鉗口上平面的高度應相等,允許偏差為士0.08mm。為0.2mm±0.1mm。5.4.2鉗口兩夾持面的平行度在0.025mm以內。5.4.3鉗口兩夾持面與夾具上平面應垂直,5.4.4鉗口的洛氏硬度不應低于58HRC,其表面粗糙度參數R.的大值為0.8^m。沖擊擺錘由擺桿和帶沖擊刀的錘體組成。擺錘通過擺桿的一端與擺軸連接,擺桿應具有足夠的剛性。5.5.2擺錘沖擊刀刃的角度為75',擺錘沖擊刀刃的圓弧面曲率半徑Ri為0.8mm±0.2mm

 

 

 

 半絕緣半導體電阻率測定儀

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