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產品詳細頁
碳化硅晶圓電阻率測試儀

碳化硅晶圓電阻率測試儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-20
  • 產品介紹:碳化硅晶圓電阻率測試儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成:

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀:

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2電流誤差:±0.5%

三坐標測試移動品臺:

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

四探針測試電極:

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數:可以設定

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

 

 

 

 

如果有一只試品不能滿足一項試驗要求,則應按照7.7重復試驗程序進行重復試驗。300CNVVNW只有在鍍鋅層試驗用磁力法試驗后的樣本E2的絕緣子才準于運行使用。

應對圖樣上所給岀的尺寸進行檢査,圖樣上給出的公差是有效的。若圖樣上未給出公差,則應采用第6章規定值。本試驗僅對帶有按GB/T4056規定的球窩聯接的絕緣子進行,并按GB1001.1的規定進行檢驗。a)隨機地從E2試品中抽出一只絕緣子,根據ISO3452用染色滲透法進行裂痕檢査。檢査部位包括傘套與金屬附件間全部界面所涉及的區域,也包括屬于金屬附件的有效延伸區。-—用清潔劑將表面完全預清理干凈;——滲透結束后的5min內在環境溫度下,在絕緣子金屬附件之間施加70%額定機械負荷的拉伸負荷,此拉伸負荷應迅速而平穩地增加到SML的70%,在此值下保持1min;——除去多余滲透劑,使表面清潔干燥;——如需要可使用顯影劑;

檢査表面。有些傘套材料可被滲透劑滲透,在這些情況下應提供證據證明結論分析的有效性。70%額定機械負荷1min試驗后,應檢査試品是否出現開裂,如果出現開裂,應將傘套(必要時連同金屬附件和芯棒)在顯示表面開裂寬部位的中間沿垂直于開裂方向切成兩半,研究兩表面開裂深度。b)應在周圍溫度下對樣本E的所有絕緣子施加拉伸負荷

 

 

 

碳化硅晶圓電阻率測試儀

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