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產品詳細頁
非接觸法晶圓電阻率成像測定儀

非接觸法晶圓電阻率成像測定儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-21
  • 產品介紹:非接觸法晶圓電阻率成像測定儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成:

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀:

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2電流誤差:±0.5%

三坐標測試移動品臺:

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

四探針測試電極:

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數:可以設定

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

 

 

 

 

 

 

將未修整面按GB/T6553要求打磨處理。安裝時,應將長度方向中裁取膠片較靠近底邊的一端聯接在高壓電極,且此電極應在未修整面上,上下電極間至少65%的面積應為待試樣。

試驗方法和結果判定依據GB/T6553,試驗采用恒壓法A,耐受電壓4.5kV,蝕損深度不應大于2.5mm。試驗結果僅當蝕損區域在裁取的傘裙膠料內有效(蝕損深度大于2.5mm的部分可以是制樣用膠料),否則應重新補做該號試品。注:如果絕緣子的傘套裁取不到以上規格的膠片時,應采用正常生產使用的膠料,按正常生產的硫化條件制成符合GB/T6553規定的試樣。一種絕緣子型式在電氣上是由電弧距離、爬電距離、傘傾角、傘徑和傘間距所確定的。一種型式符合上述準則的絕緣子,其電氣型式試驗只需進行一次。如果引弧裝置是該型式絕緣子的一完整部分,則電氣型式試驗應帶上引弧裝置進行。僅當上述特性中有一項或幾項改變時電氣型式試驗才需重新進行。

一種絕緣子型式在機械上是由芯棒直徑和材料、傘套的材料和工藝、金屬附件的連接方法來確定。僅當上述特性中有一項或兩項都改變時機械型式試驗才需重新進行。除非另有規定,按IEC60383.1993中和12進行。按IEC60383.1993中和12進行

 

 

 

 

 

非接觸法晶圓電阻率成像測定儀

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