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產品詳細頁
非接觸法晶圓電阻率成像測試儀

非接觸法晶圓電阻率成像測試儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-21
  • 產品介紹:非接觸法晶圓電阻率成像測試儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成:

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀:

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2電流誤差:±0.5%

三坐標測試移動品臺:

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

四探針測試電極:

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數:可以設定

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

 

 

 

 

 

試驗期間不應岀現擊穿和表面閃絡,本試驗用來檢査傘套材料的點燃及自熄性能。本試驗應按照IEC60707中的FV方法進行。如果試樣屬于IEC60707所確定的FV-0范圍,則試驗通過。除芯棒材料試驗試品外,設計試驗試品的傘套材料應相同。在絕緣子較大傘裙,裁取的膠片表面應沒有或存在較小的劃傷、凸起、凹坑、氣泡、標記、修補痕跡等缺陷。膠片數量應不少于5片。將膠片修整成長度不小于60mm,寬度為40mm?50mm,厚度為2mm?6mm的形狀。

修整時應盡可能少地裁削膠片,并且進行厚度修整時只能對其一個傘面(一般為傾斜角較大的一面)切削,膠片的邊沿可以不是直線,但應在以上規定的范圍內。將裁好的膠片放置于試樣制備模具中,放置時應保證待試樣長度方向距模腔底邊約5mm?10mm,寬度方向應使試樣放在中間,厚度方向將未修面緊貼模具底面,然后均勻放置適量膠料(此膠料應與傘裙膠料相同或相近),按混煉膠硫化工藝成型、制樣,制備的試樣表面應無裂痕,未修整表面中部不應有制樣用膠料,必要時可在待試樣親和界面涂偶聯劑

 

 

 

 

 

 

非接觸法晶圓電阻率成像測試儀

非接觸法晶圓電阻率成像測試儀

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