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產品詳細頁
非接觸法晶圓電阻率成像測量儀

非接觸法晶圓電阻率成像測量儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-21
  • 產品介紹:非接觸法晶圓電阻率成像測量儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成:

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀:

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2電流誤差:±0.5%

三坐標測試移動品臺:

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

四探針測試電極:

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數:可以設定

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

 

 

 

 

試品應(纖維垂直)地放入玻璃容器內,置于一層直徑相同(1mm?2mm)的鋼球或玻璃球上,將1%的品紅乙醇溶液(1g的品紅放入100g的乙醇中)染料倒入容器中,使其液面應比球層的上平面高2mm?3mm,染料可因毛細作用而從芯棒內上升,測量染料上升貫通試品的時間。染料上升貫通試品所用的時間應長于15min。在流動的冷水下,用有金剛石層的圓鋸片從正常生產的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下6只試品。

試品長度應為30mm土0.5mm。切面應用細砂布打光(砂粒大小為180目),兩端的切面應是清潔和平行的。試品的表面在煮沸前應先用異丙醇清洗并用濾紙擦凈,將試品放入含0.1%重量NaCl的去離子水的玻璃容器內煮沸,在同一容器中,只能放入所切割的同一種芯棒材料試品在一起煮沸。沸騰容器示例見圖2。在沸騰時間到了以后,將試品從玻璃容器中取出,在周圍溫度下置于裝滿自來水的另一玻璃容器中,持續至少15min。在試品自沸騰容器中取出后3h內進行按5.4.2.3的電壓試驗。電壓試驗應在圖3和圖4所示的裝置中進行。注:對較大直徑的試品,電極的直徑也應加大,電極直徑至少應比試品直徑大20mm。T1——調壓器;T2—變壓器;

V—電壓測量裝置;mA毫安表;Pr——毫安表的保護;S試樣和電極。在電壓試驗前,將試品從玻璃容器中取岀,并用濾紙將其表面擦干。然后將每一只試品置于二電極間。試驗電壓以大約1kV/s的速度升到12kV0維持12kV電壓1min,然后降低和除去電壓

 

 

 

 

 

 

非接觸法晶圓電阻率成像測量儀

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