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產品詳細頁
晶圓非接觸法電阻率測量儀

晶圓非接觸法電阻率測量儀

  • 產品型號:GEST-201
  • 更新時間:2021-05-21
  • 產品介紹:晶圓非接觸法電阻率測量儀主要通過四探針法測試單晶硅電阻率,具有自動定位的三坐標自動測量系統,可以自由設置測量點數量,自動測試完成,可以對測試出的數據進行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。
  • 在線留言 010-57223838

產品介紹

產品名稱:全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成:

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀:

1.1電阻率:0.00001~20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻:0.00001~20000Ω.cm;

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度:±0.1% ;

3、恒流源:

3.2電流誤差:±0.5%

三坐標測試移動品臺:

2、X軸Y軸*小位移量:0.125MM

四探針測試電極:

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數:可以設定

4、 2D成像:測試完成后,可以立體成像

 

直到按下面的次序開始驗證試驗。下面的各個試驗(5.1..1.4.2和5.1.4.3)的間隔時間應使得此驗證試驗在48h內完成。對每只試品的傘套進行外觀檢査,不允許有開裂。在試品上布置電極(該電極由夾片構成,例如可由大約20mm寬,厚度不超過1mm的窄銅條作成)。此電極應牢固地緊繞在傘裙間的傘套上,形成約等于或小于500mm的區段。若絕緣子的絕緣長度小于或等于500mm,就將電壓直接加到原有的金屬附件上。將陡度不小于1000kv/jxs,且不大于1500kV/咨的沖擊電壓施加到兩個相鄰的電極間或將電壓施加到金屬附件與相鄰的電極上,每個區段應分別承受25次正極性沖擊和25次負極性沖擊。每次的沖擊應引起電極間的外部閃絡。

而不應產生擊穿,然后撤去構成區段所用的電極。按照5.1.2所給出的程序對每一只試品再次測定干工頻閃絡電壓。每一只試品的閃絡電壓平均值不得低于按5.1.2測得值的90%。5.1.2測得它的平均閃絡電壓的80%的電壓,持續30min。試驗不應產生擊穿,用在生產線上制成的6只絕緣子進行試驗,絕緣子的長度(金屬附件至金屬附件的絕緣距離)應不小于800mm,兩端金屬附件應與生產線上的絕緣子所采用的相同。芯棒的端部連接區應相同,但芯棒端部以外的部分可作適當修改,以避免聯接的破壞

 

 

 

晶圓非接觸法電阻率測量儀

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